Система автоматического управления обеспечивает управление, индикацию и архивирование параметров для системы газонапуска (дозирования газов по расходу).
Рис. 1. Регулятор расхода газа РРГ-10 DN 4 мм (до 1800 л/ч)
Газовая панель может состоять из нескольких идентичных по функционалу газовых линий напуска для каждого газа, работающих независимо.
Каждая линия газонапуска снабжается ручным клапаном и клапаном с пневмоприводом. Помимо данных клапанов на газовой панели присутствует общий пневматический клапан подачи газа в камеру. Пневматические клапаны управляются с помощью пневмораспределителей, установленных на общей пневматической плите. Каждый клапан снабжен дополнительным контактом для контроля закрытого состояния.
Состояния этих клапанов, определяемые выходными управляющими сигналами включения / отключения пневмораспределителей и входными дискретными сигналами подтверждения закрытия, индицируются в системе управления и архивируются в виде соответствующих текстовых сообщений. Ручной клапан используется для сервисных функций (продувки, калибровки).
Рис. 2. Регулятор расхода газа РРГ-12 DN 4 мм (до 1800 л/ч) для подачи газов в технологическое оборудование в нескольких диапазонах регулирования с верхними пределами (Qвп) от 0,36 до 1800 нл/час (по азоту)
Регуляторы расхода являются устройствами с внутренним контуром обратной связи (аппаратными регуляторами). Сигнал со встроенного датчика расхода, сравнивается с сигналом задания регулятора. На основании разницы между этими сигналами внутри регулятора формируется сигнал управления (открытия / закрытия) пропорционального клапана регулятора. Таким образом, управляя степенью открытия пропорционального клапана, обеспечивается требуемый расход газа, соответствующий сигналу задания.
Аналоговый сигнал задания для каждого регулятора расхода соответствует диапазону 0…+5V.
От каждого регулятора расхода в систему управления поступает аналоговый сигнал 0…+5V о текущем расходе газа.
Значения задания и текущего расхода для каждого регулятора индицируются в системе управления в цифровом виде в sccm и архивируются в виде графика.
На основании значений текущего расхода для каждой линии, в системе управления производится расчет процентного соотношения газового потока относительно суммарного расхода. Данные значения индицируются в процентах и архивируются в виде графиков.
Для каждой газовой линии в системе управления можно установить порог предупредительной сигнализации (отклонение текущего расхода в процентах от заданного значения) и порог аварийного отключения магнетрона с отключением общего клапана.
Рис. 3. Регулятор давления (по входу) или расхода газа РРГ-15 с доп. датчиком давления, DN 4 мм (36, 360 и 900 л/ч)
Система управления снабжена регуляторами расхода газа, с помощью которых осуществляется нормированный газонапуск в камеру технологического процесса. Область экрана состоит из четырех групп элементов (для каждого газа соответственно), имеющих одинаковое функциональное назначение. Группа элементов, относящихся к газовой линии водорода, имеет следующий вид.
Индикатор открытия газовой линии отображается зеленым цветом, если открыт соответствующий пневматический клапан линии и задание расхода «Установить» для соответствующего газа больше нуля.
Если задание для соответствующего регулятора расхода равно нулю, или пневматический клапан линии закрыт, то индикатор отображается серым цветом.
Индикатор открытия газовой линии имеет дополнительное состояние «Режим ожидания». В данном режиме он отображается мерцающим желтым цветом. Индикатор отображается в этом режиме, если пневматический клапан соответствующей линии также находится в режиме ожидания.
Индикатор текущего расхода газа «Расход» отображается в абсолютных (sccm) и относительных (%) величинах. Расход в % — это отношение текущего расхода газа в линии (в sccm) к суммарному расходу во всех газовых линиях.
Окно задания расхода «Установить» позволяет установить необходимый расход в газовой линии в диапазоне, определяемом характеристиками аппаратного регулятора расхода.
Рис. 4. Регулятор расхода газа РРГ-18 DN 10 мм (1800, 3600, 7200 и 9000 л/ч) с цифровым управлением
На сенсорной панели управления выбор газовой линии осуществляется нажатием на наименование газовой линии в области экрана «Газовая панель» (например, «H2», «N2», «CH4», «O2»). При этом, в области ступенчатого изменения расхода, изменяется наименование газовой линии. Окно ввода величины ступеньки позволяет устанавливать значения, индивидуальные для каждой газовой линии.
Нажатие на кнопки «+» и «-» увеличивает или уменьшает, соответственно, задание расхода выбранной газовой линии на установленную величину ступеньки.
Также лампа имеет дополнительное состояние «Режим ожидания». В данном режиме она отображается мерцающим желтым цветом, если общий клапан также находится в режиме ожидания.
Данный экран предназначен для запуска и завершения процесса газонапуска в камеру (открытия / закрытия пневмоклапанов газовых линий).
Также, на данном экране возможны задание и контроль необходимых расходов в газовых линиях.
При нажатии на изображение соответствующего регулятора появляется экранная клавиатура, позволяющая устанавливать требуемый расход газа («Установить») в газовой линии.
Также, в пределах изображения каждого регулятора отображается текущий расход газа в sccm и %.
Лампа в левом нижнем углу регулятора отображает текущее состояние регулятора. Если задание расхода («Установить») равно нулю, или закрыт пневмоклапан газовой линии, то лампа отображается красным цветом. Если задание отлично от нуля и клапан газовой линии открыт, то лампа отображается зеленым цветом.
Индикатор открытия газовой линии отображается зеленым цветом, если открыт соответствующий пневматический клапан линии и задание расхода «Установить» для соответствующего газа больше нуля.
Если задание для соответствующего регулятора расхода равно нулю или пневматический клапан линии закрыт, то индикатор отображается серым цветом.
Индикатор открытия газовой линии имеет дополнительное состояние «Режим ожидания». В данном режиме он отображается мерцающим желтым цветом. Индикатор отображается в этом режиме, если пневматический клапан соответствующей линии также находится в режиме ожидания.
Рис. 5. Регулятор расхода газа РРГ-20 с идивидуальной термокоррекцией, DN 4 мм (до 1800 л/ч)
В системе автоматики предусмотрена настройка звуковой сигнализации, аварийного отключения системы газонапуска, при некорректных расходах в линиях газовой панели.
Для удобства восприятия информации, на экранах настроек системы управления и в окне текстовых сообщений «Сообщения», может быть предусмотрена кнопка, позволяющая переключать язык надписей и текстовых сообщений (русский / английский).
Сигнализации по расходу газа
В данной области устанавливаются настройки для срабатывания аварийной звуковой сигнализации при некорректном расходе газа для четырех газовых линий (например, H2, N2, CH4, O2).
Текущее отклонение потока, %
В данной строке отображаются отклонения текущего газового потока от заданного значения, для каждой газовой линии:
Порог сигнализации, %
В данной строке устанавливается пороговое значение для аварийной звуковой сигнализации. Если модуль текущего отклонения потока превышает установленное пороговое значение, и срабатывание звуковой сигнализации по данному параметру активировано, то будет включен аварийный звуковой сигнал, в окне «Сообщения» появится соответствующее аварийное сообщение.
Включение сигнализации
С помощью данных кнопок разрешается / запрещается срабатывание аварийной звуковой сигнализации, при отклонении текущего потока от заданного значения.
Задержка сигнализации, s
С помощью данного параметра устанавливается задержка срабатывания звуковой сигнализации при отклонении текущего потока от заданного значения. Эта задержка позволяет исключить срабатывание при кратковременных отклонениях, например при изменении задания «Установить».
Текущее отклонение потока, %
Данный параметр аналогичен описанному выше в области экрана «Сигнализация по расходу газа».
Разрешить отключение
С помощью данных кнопок разрешается / запрещается аварийное отключение, при отклонении текущего потока от заданного значения.
Задержка отключения, s
С помощью данного параметра устанавливается задержка аварийного отключения, при отклонении текущего потока от заданного значения. Эта задержка позволяет исключить срабатывание блокировки при кратковременных отклонениях
система дозирования под заказ
Система дозирования может быть выполнена с учетом любых индивидуальных требований. Пожалуйста, отправляйте ваши запросы
(812) 493-20-71
склад
193079, Санкт-Петербург,
ул. Новоселов, дом 8
+ 7 (921) 943 12 26
Пн — Пт 09:00 — 19:00